该晶圆造成厂坐落在华东地地,主要的生產8英尺半导体芯片晶圆,日访问量废渣产生标准规范量约800吨。鉴于的生產的过程中利用多氢佛酸展开晶圆蚀刻,会导致废渣中氟化物有机废气浓度多达200-300mg/L,远超发展中国家产生标准规范标准规范(10mg/L一下)。
生产废水材料及来源于
废气主要是根据6个重要环节:
晶圆蚀刻工艺技术
:含高氧化还原电位氟化物(HF)、氰化钠及一点高价属
物理化学机制磨光(CMP)污废水
:含微米级硅粉末、有机酸络合剂
设备洗化工废水
:含异丙醇、化学需氧量等无机物
治疗施工工艺图流程图
选用"检查是否沉积物+混凝土沉积物+深层次滤水"三级视频办理机系统:
一級正确处理
:加药系统氯化钙和氢防氧化钙,确立氟化钙悠长岁月中,氟化物我们要除率达85%
二次元解决
:修改PAC(汇聚氯化铝)和PAM(聚乙烯酰胺),清除溶液态废弃物物
三级考试整理
:经过多有机溶剂滤水器和化学活化炭粘附,冒水氟化物溶度不稳定性在8mg/L如下
至关重要专用设备以及:pH手动上下调整模式、斜管水解池、板框污泥处理压滤机(污泥处理脱水过滤)。
后面的效果
创业项目运作2年检测大数据体现 :
氟化物分別密度:7.2mg/L(低过各国准则)
COD快速清理率:92%
工业废水含水分率:≤65%
年收旧氟化钙副食品约150吨,做到产品化利用率