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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8英尺晶圆生育线模块化的超纯净水系统的,每天都在生产含硅废水正确处工院艺150吨。废水正确处工院艺中虽无高价属,但硅含量高易结渣,且电阻值率需达成18MΩ·cm才华造纸废水正确处理。原先正确处工院艺没有满意新实施的《智能工艺水污染问题物进行排卸要求》(GB39731-2020)相当进行排卸最大限度。 废气含量特征 常见感染物 :胶体溶液硅(200-300mg/L)、颗料硅(比表面积0.1-1μm) 比较特殊符合要求 :TOC<10μg/L,硼含锌量<5μg/L 水环境性能特点 :低纯水电导率(<50μS/cm)但硅类化合物社会形态僵化 治疗新工艺流量 不断创新选用"梯级膜分割+电去铁离子"组装工艺设计: 微滤预正确处理 :1μm陶瓷图片膜阻止大粉末硅,通量形成80LMH 铝离子变换聚酯树脂 :D201大孔树酯抉择性吸硅酸大分子 二级考试RO系统的 :1、段环保再生资源回产出率60%,2.段使用高脱硼膜pcb板 EDI电去阳离子 :直流电硬度2A/m²,持续时间除掉稳定度正离子 分光光度计消毒杀菌 :254nm紫外光线线服用量40mJ/cm² 新技术突出点 开发技术专用工具阻硅剂(有机物胺类复合型物),抑制膜的污染时间是3倍 EDI版块技术创新流道设计,硅避开率升高至99.8% 百度在线硅阐述仪(在测量条件0.1-500μg/L)实现目标有目的掌控 自动运行效益 经3方检测工具: 总硅从280mg/L调至0.05mg/L 硼的含量从8μg/L调至0.3μg/L 体统收售率从原40%不断提升至68% 膜换个周期时间延迟至5年,年加载的成本减少35%

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