某半导体基带芯片基带芯片制作厂在晶圆加工制作工作中,动用硅烷开展硅外延性生长的,排放洗洁塔出显高质量浓度含硅污废水处理 。污废水处理 兼具pH起伏较大大(2-11)、硅量高的特征,传统与现代处理方式方法易出显硅垢空气能管道堵塞故障 。
生产废水的成分及主要来源
工业废水主要的因素为:
充分均匀溶解性硅酸盐
:SiO₂渗透压达1000-1500mg/L
磷酸/氢腐蚀钠
:洗洁塔酸碱性洗洁液存留
小粒硅
:奈米级SiO₂氢氧化铁
痕量砷
:原科悬浮物携带
进行处理工艺技术工作流程
的创新主要包括"两极中合+膜吸附+蒸馏沉淀"施工工艺:
两级结合
:用CaO调节器pH至4-5,绘制硅酸钙石雕文化沉淀,硅我们要除率60%。
三级采和
:加Na₂CO₃将pH升级至9,进的一步沉淀出的用不完硅,电容串联用镁剂除砷。
反渗透膜设计
:0.02μm瓷砖膜过滤器納米级硅颗粒物,通量稳固在80LMH。
MVR蒸发掉器
:浓缩咖啡高盐污水,晶体出Na₂SO₄副软件,水回收率超90%。
决定感觉
总硅从1500mg/L降落到5mg/L一下
砷水平从0.8mg/L下降0.01mg/L
平台无积灰运动达到2年
几乎每年回收分类处理硝酸钠钠氯化钠晶体约800吨