半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体器件品质首测配合涉重污废水 ——MVR立即巡环零排内容
好项目的背景
半导高测封楼盘,投资规模150立米米/天,是首条半导测封生活配套涉重工业废液零排楼盘。测封关键点的镀镍、镀铜、引线架构设计刷洗会有含镍含铜工业废液,项目耍求"无尾水外排",产水都是循环于产线。
土质优点与重难点
生产废水以含镍偏重于(渗透压10–100毫克/升),伴氢化物发生器铜、锌,pH震荡大(2–12),和光刻胶留的一少部分有机化学物。测封厂活动场地紧,规定正确处理配制占地面小;零排意思着浓水无法运输不要,一定要地方减压蒸馏结晶体闭环控制。
治工院艺路线规划
整体结构走"分质提取 → 预处里除杂 → 有机化学凝固除镍 → 过滤程序 → UF+多级RO → MVR強制反复蒸发器 → 冷却水水回收":
含镍线先调pH到10–11,污泥脱水氢腐蚀钠形成Ni(OH)₂奠定,再加上混炼钠深度1捕集器残留物镍(混炼镍Ksp比氢腐蚀镍更小,把镍压到0.1毫克/升下面);
发展溢水经多媒质油烟净化器+安保油烟净化器后进UF,再进一級RO,产水就直接回产线洁净;
RO浓水(含盐+残留巨资属)进MVR立即不断不断循环减压蒸馏器,立即不断不断循环能扛高含盐水垢,减压蒸馏器自代线下刷洗,不方便堵;
MVR蒸汽加热水离开回收养鱼池,多效蒸发残液委外焚烧炉或算作危废处理应急处置,所有工业区无气态外排。
主要系统的优势说
MVR硬性配置比起各种类型降膜减压蒸馏,配置流体密度高、制热面很容易结镍盐/碳酸盐垢,好首测那样"水流量越来越但饮用水杂"的环境;立体式化撬装制作占地面积比传统性减压蒸馏塘+多效减压蒸馏方案格式小60%及以上;臭味侧智能化海洋生物滤池,把调结池和活性污泥间的臭味征集后光降解成CO₂和水,禁止首测厂紧挨企业办公室的臭味投诉举报。
净化处理结果与作用
满水后镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,相较于《镀膜严重大气污染物直接排出原则》表三;整体150立米米/天产水造纸废水处理于首测产线进行维护清洁,代换等量鲜新水;危废处理(蒸发掉残液+厌氧颗粒污泥)量比传统式"析出+直接排出"方式减约70%。对富士康侧,首测顶目优质准入的卡点挨打通;